[发明专利]钨层去除溶液有效
| 申请号： | 201210191229.9 | 申请日： | 2012-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN103484864A | 公开（公告）日： | 2014-01-01 |
| 发明（设计）人： | 金波;宋世涛 | 申请（专利权）人： | 北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/38 | 分类号： | C23F1/38;H01L21/768 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 郭红丽 |
| 地址： | 100871 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种钨层去除溶液，由氨、过氧化氢及水组成，并且以质量百分比计，氨为8%~22％，过氧化氢为10%~19％。利用本发明的钨层去除溶液，能够以低成本、较少的配套设施去除钨层，并且简化操作，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 去除 溶液 | ||
【主权项】：
一种钨层去除溶液，其特征在于，由氨、过氧化氢及水组成，并且以质量百分比计，氨为8%~22%，过氧化氢为10%~19%。
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