[发明专利]一种利用线绳弹簧拉伸的推杆式晶圆夹持装置

摘要

一种利用线绳弹簧拉伸的推杆式晶圆夹持装置，该装置包括托盘、四个底面支撑组件、两个侧面支撑组件和一个线绳伸缩夹持组件。线绳伸缩夹持组件包括电机、线绳、一个推杆、两个移动夹子、两个限位装置和两个弹簧元件。在电机与弹簧元件的作用下，线绳拉动推杆沿X轴方向运动，使得晶圆夹在两个侧面支撑组件与两个移动夹子之间，弹簧的压缩变形作用对晶圆边缘产生压力，可固定晶圆。通过改变凸起支撑件的位置并通过调整限位装置，可以实现对不同直径尺寸晶圆的夹持，解决了现有传输结构中可传输晶圆尺寸单一的问题。利用弹簧元件使夹持晶圆时具有柔性，起到夹持缓冲的作用，避免了夹持晶圆过程中由于夹持力的冲击引起的晶圆损坏。

主权项

一种利用线绳弹簧拉伸的推杆式晶圆夹持装置，其特征在于：该晶圆夹持装置（100）包括固定夹持装置和线绳伸缩夹持装置（200）；固定夹持装置包括托盘（101）、两个侧面支撑元件（102）、四个凸起支撑件（103）和八个圆孔（104）；托盘（101）的形状为Y形；侧面支撑元件（102）对称布置在托盘（101）的末端位置；凸起支撑件（103）为圆柱状，且圆柱上部分倒圆角；晶圆底面与凸起支撑件上表面接触，由四个凸起支撑件（103）支撑晶圆；八个圆孔（104）对称布置在托盘两侧；凸起支撑件（103）固定在圆孔（104）内；侧面支撑元件（102）为圆柱形，其外表面与晶圆的外表面接触；线绳伸缩夹持装置（200）包括电机（201）、线绳（202）、限位装置（203）、弹簧元件（204）、推杆组件（205）和移动夹子（206）；推杆组件（205）包括推杆（205a）和推杆梁(205b)，两个移动夹子（206）对称布置在推杆梁（205b）两侧；移动夹子（206）为圆柱形，圆柱底部倒圆角，其外表面与晶圆外边缘接触；限位装置固定在托盘（101）上，包括一个横梁（2031）、四个调节螺钉（2032）、两个挡板（2033）；横梁（2031）固定在托盘（101）上，且开有四个螺纹孔（2031a）、两个第一圆孔(2031b)和一个第二圆孔(2031c)；四个螺纹孔(2031a)和两个第一圆孔（2031b）沿Y轴方向对称布置在横梁（2031）两侧，四个调节螺钉（2032）分别安装在四个螺纹孔（2031a）中，两个挡板(2033)分别安装在两个第一圆孔(2031b)中；推杆(205a)穿过第二圆孔；电机（201）固定在基座上，线绳（202）与推杆（205a）固定连接；两个弹簧元件（204）的一端固定在推杆梁（205b）上，另一端分别与两个挡板（2033）连接；电机（201）带动线绳沿X轴负方向运动，线绳（202）带动推杆组件（205）沿X轴负方向运动。