[发明专利]夹持装置、组件和光刻投影设备有效
| 申请号： | 201210193315.3 | 申请日： | 2012-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN102830593A | 公开（公告）日： | 2012-12-19 |
| 发明（设计）人： | R·W·费尔特曼;M·K·J·伯恩;D·J·M·保卢森 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴敬莲 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明公开了一种夹持装置、一种组件和一种光刻投影设备。所述夹持装置被构造和布置用于将两个部件夹持在一起。所述夹持装置具有：对准器，构造和布置用于将两个部件相对于彼此设置在对准位置；夹持器，构造和布置用于将两个部件保持在对准位置；分离器，构造和布置用于引导两个部件离开对准位置至分离位置；以及致动器，构造和布置用于将电流转化成动能。 | ||
| 搜索关键词： | 夹持 装置 组件 光刻 投影设备 | ||
【主权项】：
一种夹持装置，构造和布置用于将两个部件夹持在一起，所述夹持装置包括：对准器，构造和布置用于将所述两个部件相对于彼此设置在对准位置；夹持器，构造和布置用于将所述两个部件保持在对准位置；分离器，构造和布置用于引导所述两个部件离开对准位置至分离位置；以及致动器，构造和布置用于将电流转化成动能，其中所述对准器、夹持器以及分离器被构造和布置成被致动器驱动。
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