[发明专利]可高速、高精度地进行指定的气体激光振荡器中的指令装置

摘要

本发明提供一种可高速、高精度地进行指定的气体激光振荡器中的指令装置。该气体激光振荡器中的指令装置具有多个放电管和对应的多个电极，并具有制作多个激光电源的指令的指令制作部、和把制作的指令分离为偏置指令、输出指令、偏移指令以及增益指令的分离部，偏置指令和输出指令对于多个激光电源是共用的，偏移指令以及增益指令至少根据多个激光电源中的各个激光电源的放电管决定，还包含发送部，用于向多个激光电源发送对于多个激光电源共用的偏置指令以及输出指令，同时与多个激光电源对应地串行发送至少根据多个激光电源的放电管决定的偏移指令以及增益指令。由此，即使在有多个电源的情况下也能够用短的时间调整基极放电以及最大注入电力。

主权项

一种激光振荡器中的指令装置，其是具有多个放电管（21、22）和与这些多个放电管（21、22）对应的多个电极（23、24）的气体激光振荡器（20）中的多个激光电源（11、12）的指令装置，该激光振荡器中的指令装置的特征在于，具有：指令制作部（5），其制作针对上述多个激光电源（11、12）的指令；和分离部（36），其把通过该指令制作部（5）制作的指令分离为偏置指令、输出指令、偏移指令以及增益指令，上述偏置指令以及输出指令是对于上述多个激光电源（11、12）共用的指令，上述偏移指令以及增益指令至少根据上述多个激光电源（11、12）中的各个激光电源的上述放电管（21、22）决定，上述激光振荡器中的指令装置还具有发送部（37），其用于向上述多个激光电源（11、12）中的各个激光电源发送对于上述多个激光电源（11、12）共用的上述偏置指令以及上述输出指令，同时与上述多个激光电源（11、12）中的各个激光电源对应地串行发送至少根据上述多个激光电源（11、12）中的各个激光电源的上述放电管（21、22）决定的上述偏移指令以及上述增益指令。