[发明专利]生物传感结构及其形成方法

摘要

一种形成生物传感结构的方法，包括开槽部分衬底，从而在衬底中形成多个平台。多个平台中的每个均具有顶面和与该顶面相邻的侧壁面。第一反光层沉积在每个平台的顶面和侧壁面上方。填充材料形成在第一反光层的第一部分上方。停止层沉积在填充材料和第一反光层的第二部分上方。牺牲层形成在停止层上方并且被平坦化，暴露出停止层。第一开口形成在停止层和第一反光层中。第二反光层沉积在第一开口上方。第二开口形成在第二反光层中。本发明还提供一种生物传感结构。

主权项

一种形成多个生物传感结构的方法，所述方法包括：开槽部分衬底，从而在所述衬底中形成多个平台，其中，所述多个平台中的每个均具有顶面和与所述顶面相邻的侧壁面；在所述衬底上方沉积第一反光层，由此覆盖了每个平台的所述顶面和所述侧壁面；在所述第一反光层的第一部分上方形成填充材料，从而暴露出所述第一反光层的第二部分；在所述填充材料和所述第一反光层的所述第二部分上方沉积停止层；在所述停止层上方形成牺牲层；平坦化所述牺牲层，从而部分地暴露出所述停止层；在所述停止层和所述第一反光层中形成第一开口，从而暴露出每个平台的所述顶面的第一部分；在所述第一开口和每个平台的部分暴露的顶面上方沉积第二反光层；在所述第二反光层中形成第二开口，从而暴露出每个平台的所述顶面的第二部分。