[发明专利]使硅颗粒干燥并且回收溶剂

摘要

本发明涉及使硅颗粒干燥并且回收溶剂。用于干燥硅颗粒的设备具有溶剂喷射喷嘴、溶剂排出设备、气体入口以及气体排出设备。例如在酸性蚀刻以及去离子水冲洗之后要进行上述干燥。干燥设备是封闭系统，具有容纳溶剂供应管以及排出通风系统的盖。该封闭系统设计可形成惰性环境中的高效低温干燥系统。通过利用低温度，该设备可处理可种不同的颗粒尺寸、防止颗粒表面的氧化物生成，并且允许重新使用溶剂。

主权项

一种设备，包括：保持颗粒的容器，其中，所述容器位于所述颗粒下方的底部具有亲水性并且包括孔；溶剂入口，其连接至多个上部喷嘴，其中，所述上部喷嘴被定位在保持所述颗粒的所述容器上方，并且流体溶剂从所述上部喷嘴流动经过所述颗粒并经过所述容器底部的所述孔；以及气体入口管，其连接至气体输入喷嘴，其中，所述气体输入喷嘴被连接至从保持所述颗粒的所述容器下方喷气的底部喷嘴，气体从所述底部喷嘴流经所述容器底部的所述孔并经过所述颗粒，并且气流与溶剂流的方向相反。