[发明专利]无振动棒的金属靶发生器有效
申请号: | 201210198836.8 | 申请日: | 2012-06-15 |
公开(公告)号: | CN102736450A | 公开(公告)日: | 2012-10-17 |
发明(设计)人: | 李小平;苗怀坤;陈学东 | 申请(专利权)人: | 华中科技大学 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;H05G2/00 |
代理公司: | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人: | 李佑宏 |
地址: | 430074 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开了一种无振动棒的金属靶发生器,其包括:筒体,该筒体内容置有液态金属(6),用于产生金属靶靶;微孔(10),开设在筒体底部,金属液体可通过该微孔(10)流出;其特征在于,该金属靶发生器还包括电磁线圈(9,15,37,38),其通电后产生电磁力作用在液体金属(6)上,使得从所述微孔(10)流出的液体为呈均匀滴落的金属靶,进而形成金属靶靶。本发明的装置利用电磁场实现射流断裂,无需借助振动棒,从而避免液体金属产生的波动,而且金属靶体积小、下落的间隔周期稳定。 | ||
搜索关键词: | 振动 金属 发生器 | ||
【主权项】:
一种无振动棒的金属靶发生器,其包括:筒体,该筒体内容置有液态金属(6),用于产生金属靶;微孔(10),开设在筒体底部,所述金属液体(6)可通过该微孔(10)流出;其特征在于,该金属靶发生器还包括电磁线圈(9,15,37,38),其通电后产生电磁力并作用在液体金属(6)上,使得从所述微孔(10)流出的液体呈均匀滴落,形成金属靶。
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