[发明专利]一种加热丝嵌入式硅基微热板及加工方法有效
| 申请号： | 201210199078.1 | 申请日： | 2012-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN102730621A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 王海容;张欢;孙全涛;陈磊;蒋庄德 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 朱海临 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种加热丝嵌入式硅基微热板及制备方法，所述微热板采用硅基材料制备，易于MEMS加工工艺上的实现。其特征在于，在传统“三明治”夹层结构的基础上，将加热丝埋入到基底绝缘膜层中，通过周围致密绝缘膜层对加热丝的约束作用，减小了加热丝与绝缘层热膨胀系数失配所产生的热应力对器件稳定性造成的影响，同时有效的缓解电迁移对加热丝变形的影响，从而提高微热板在高温工作时的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 加热 嵌入式 硅基微热板 加工 方法 | ||
【主权项】：
一种加热丝嵌入式硅基微热板，包括背部带绝热槽的单晶硅基底，该单晶硅基底上设置下绝缘层，下绝缘层上方设置带引线盘的加热丝层，加热丝上设置一层上绝缘层，在加热丝层引线盘位置的上绝缘层开有引线窗，其特征在于，所述加热丝层嵌入到下绝缘层的内部。
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