[发明专利]大口径光学元件光学特性的快速检测方法及装置

摘要

本发明公开了一种大口径光学元件光学特性的快速检测方法及装置，首先将泵浦光束照射到被测样品表面上的测量点1，由测量点1反射出来的泵浦光经能量回收反射镜后再次照射到样品表面上的测量点2，以此类推，泵浦光经能量回收反射镜后多次与被测样品表面相互作用，在被测样品表面的测量点1到测量点N都引起了局部材料特性变化。这N个测量点的局部材料特性变化由探测光束进行并行探测。本发明利用泵浦光能量回收反射镜对被测样品反射出来的激光能量进行回收重复利用从而大幅度提高大口径光学元件光学特性检测速度，该方法和装置可以用于光热无损检测、光热精密测量、光学吸收光谱、光热成像与缺陷分析等多个领域，特别适用于对大口径激光反射镜微弱吸收特性的快速检测与成像。

主权项

大口径光学元件光学特性的快速检测方法，其特征在于：包括以下步骤：（1）、泵浦光束入射到被测样品的表面，并在被测样品的表面的第一个测量点产生光热效应，引起表面局部热形变；由样品表面反射的泵浦光束经能量回收反射镜反射后再次照射到样品表面上的测量点2，引起表面局部热形变；如此类推，泵浦光经能量回收反射镜后多次与被测样品表面相互作用，在被测样品表面的测量点1到测量点N都引起了表面局部热形变；（2）、探测光束照射到被测样品上，并在被测样品表面上的测量点位置与泵浦光重叠，由于泵浦光引起的表面热形变，探测光的传播特性会发生改变，产生新增的会聚或发散效应；经被测样品反射的探测光束经过空间滤波器阵列和滤光片后达到光电探测器阵列，由光电探测器阵列检测。