[发明专利]回流焊和清理集成工艺以及实施该工艺的设备有效

专利信息
申请号: 201210202183.6 申请日: 2012-06-15
公开(公告)号: CN103143798A 公开(公告)日: 2013-06-12
发明(设计)人: 刘重希;黄见翎;张博平;黄英叡 申请(专利权)人: 台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号: B23K1/00 分类号: B23K1/00;B23K3/00;B23K3/08;H01L21/60;H01L21/02;H01L21/67
代理公司: 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 代理人: 章社杲;孙征
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 发明公开了一种方法,所述方法包括对封装结构的焊区进行回流焊,以及在高于室温的清理温度下对所述封装结构实施清理。在所述回流焊步骤与所述清理步骤之间,所述封装结构未被冷却到接近于所述室温的温度。本发明还公开了回流焊和清理集成工艺以及实施该工艺的设备。
搜索关键词: 回流 清理 集成 工艺 以及 实施 设备
【主权项】:
一种方法,所述方法包括:对封装结构的焊料区进行回流焊;以及在高于室温的清理温度下对所述封装结构实施清理,其中在所述回流焊步骤和所述清理步骤之间,所述封装结构未被冷却到接近于所述室温的温度。
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