[发明专利]回流焊和清理集成工艺以及实施该工艺的设备有效
申请号: | 201210202183.6 | 申请日: | 2012-06-15 |
公开(公告)号: | CN103143798A | 公开(公告)日: | 2013-06-12 |
发明(设计)人: | 刘重希;黄见翎;张博平;黄英叡 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | B23K1/00 | 分类号: | B23K1/00;B23K3/00;B23K3/08;H01L21/60;H01L21/02;H01L21/67 |
代理公司: | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人: | 章社杲;孙征 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开了一种方法,所述方法包括对封装结构的焊区进行回流焊,以及在高于室温的清理温度下对所述封装结构实施清理。在所述回流焊步骤与所述清理步骤之间,所述封装结构未被冷却到接近于所述室温的温度。本发明还公开了回流焊和清理集成工艺以及实施该工艺的设备。 | ||
搜索关键词: | 回流 清理 集成 工艺 以及 实施 设备 | ||
【主权项】:
一种方法,所述方法包括:对封装结构的焊料区进行回流焊;以及在高于室温的清理温度下对所述封装结构实施清理,其中在所述回流焊步骤和所述清理步骤之间,所述封装结构未被冷却到接近于所述室温的温度。
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