[发明专利]一种实现且维持压力≤15×10-13torr抽真空方法

摘要

本发明涉及一种实现且维持压力≤15×10-13torr抽真空方法，采用以下方法：将抽真空设备接入外部的真空容器，通过真空泵抽气，检漏无漏点；利用外部加热的方式烘烤抽真空设备和外部的真空容器，达到超高真空要求，依次向液氮薄壁桶注入液氮，待液氮薄壁筒和无氧铜套温度恒定后（～-180℃）；使用钛升华泵90秒，稳定约半小时，可实现真空腔室真空≤15×10-13torr。本发明的优点是操作简便，成本低，效率高。

主权项

一种实现且维持压力≤15×10‑13torr抽真空方法，其特征在于：在不引入振动的前提下，利用冷表面吸附的方式，实现且维持真空好于1.5×10‑12torr，其方法为：所述采用的抽真空设备为一下端设有通孔的封闭空腔，抽真空设备上设有真空泵接口（10），于抽真空设备的内壁面上设有中空的上下两端开口的筒状液氮冷却夹层（3），液氮冷却夹层（3）上设有液氮进出口（2），液氮冷却夹层（3）底部设有上端开口、下端封闭的筒状无氧铜套（7）；于抽真空设备内设有液氮薄壁筒（8），液氮薄壁筒（8）为上下两端开口、侧壁为中空夹层结构的筒体，液氮薄壁筒（8）上设有液氮出入口（9）；于液氮薄壁筒（8）内部悬置有钛升华泵（5）；所述的抽真空设备外壁上设有环状连接件（6），抽真空设备通过环状连接件与外部的真空容器相连接，抽真空设备通过通孔（11）真空容器相连通，真空容器上设有第二真空泵接口；步骤1.将真空泵分别接入真空泵接口（10）和第二真空泵接口，抽真空，烘烤抽真空设备和真空容器使其温度处于150‑200℃，边烘烤边抽真空，当抽真空设备和真空容器内的压力≤3×10‑8torr时，烘烤完毕，抽真空设备和真空容器降至室温，此时抽真空设备和真空容器内的压力≤<8×10‑11torr，达到超高真空；步骤2.通过液氮进出口（2）和出入口（9）分别向液氮冷却夹层（3）和液氮薄壁筒（8）的夹层内持续注入液氮，等待钛升华泵（5）和无氧铜套（7）温度降至恒定，液氮冷却夹层（3）内表面、液氮薄壁筒（8）表面、无氧铜套（7）内表面以吸附形式抽气；步骤3.使用钛升华泵（5），将钛蒸发到液氮薄壁筒（8）内表面和无氧铜套（7）内壁上形成冷的钛膜，冷的钛膜通过吸附抽气，使抽真空设备内的压力≤1.5×10‑12torr。