[发明专利]用于大幅度微纳结构的扫描探针测量系统及其方法无效
| 申请号： | 201210204638.8 | 申请日： | 2012-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN102735880A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 居冰峰;陈远流;张威;朱吴乐;姜燕 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01Q60/10 | 分类号： | G01Q60/10 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 张法高 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开一种用于大幅度微纳结构测量的扫描探针测量系统及其方法。包括手调微动台、行程为25mm的电机驱动精密位移台、电机驱动器、行程为60µm的长行程压电陶瓷、压电陶瓷驱动器、PID控制电路单元、扫描探针测头、直线编码器、电容式位移传感器等。通过电机驱动的精密位移台和长行程压电陶瓷的两级伺服联动控制，实现大幅度微纳结构表面形貌的扫描探针显微超精密测量。本发明克服了传统扫描探针测量系统纵向测量范围有限、不适用于大幅度微纳结构扫描测量的缺点，提供了一种新型的扫描探针测头系统及其方法，满足了大幅度微纳结构工件表面形貌超精密测量需求。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 大幅度 结构 扫描 探针 测量 系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种用于大幅度微纳结构的扫描探针测量系统，其特征在于包括探针测头装置、压电控制单元和电机控制单元，探针测头装置包括手调微动台（1）、行程为25mm的电机驱动精密位移台（2）、压电陶瓷夹持机构（3）、行程为60 µm的长行程压电陶瓷（4）、扫描探针测头（5）；手调微动台（1）上设有行程为25mm的电机驱动精密位移台（2），行程为25mm的电机驱动精密位移台（2）上设有压电陶瓷夹持机构（3），行程为60 µm的长行程压电陶瓷（4）上端固定在压电陶瓷夹持机构（3）上，行程为60 µm的长行程压电陶瓷（4）下端设有扫描探针测头（5）；压电控制单元包括顺次连接的PID控制电路单元（7）、压电陶瓷驱动器（8）、电容式位移传感器(9)，其中PID控制电路单元(7)上设有第一输入口(15)和第二输入口(12)，第一输入口(15)与扫描探针测头(5)相连，第二输入口(12)与参考隧道电流值相连，压电陶瓷驱动器（8）设有第一输出口（13），第一输出口（13）与行程为60 µm的长行程压电陶瓷（4）相连，电机控制单元包括顺次连接的电机驱动器（10）、线性编码器(11)，电机驱动器(10)上设有第二输出口(14)，线性编码器(11)上设有第三输入口(16)，第二输出口(14)和第三输入口(16)分别与行程为25mm的电机驱动精密位移台(2)相连。
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