[发明专利]单晶炉用伸展式热屏蔽器有效
申请号: | 201210205680.1 | 申请日: | 2012-06-20 |
公开(公告)号: | CN102758258A | 公开(公告)日: | 2012-10-31 |
发明(设计)人: | 林游辉 | 申请(专利权)人: | 合肥景坤新能源有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;C30B29/06;C30B15/00 |
代理公司: | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人: | 方峥 |
地址: | 231600 安徽省*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开了一种单晶炉用伸展式热屏蔽器,包括有围绕于硅单晶棒外热屏,热屏的上端连接有热屏上盖,热屏上盖的下方设有上保温筒,所述热屏是由热屏外壳、热屏内壳及中间的热屏保温层组成,热屏呈圆台状,且具有中央通道,热屏与热屏上盖之间的夹角为40-50°,中央通道的纵剖面为梯形,热屏外侧滑动配合有延伸热屏,延伸热屏外侧连接有推动气缸,推动气缸的缸体固定于热屏上盖上。在一定程度上增加了熔硅的纵向温度梯度,同时采用延伸热屏后,可以调节氩(氮)气流对固-液界面的吹拂高度,增强了氩(氮)气流携带结晶潜热的作用因此有利于单晶生长,并可以提高结晶速率,进而提高拉晶速率。 | ||
搜索关键词: | 单晶炉用 伸展 屏蔽 | ||
【主权项】:
单晶炉用伸展式热屏蔽器,其特征在于:包括有围绕于硅单晶棒外热屏,热屏的上端连接有热屏上盖,热屏上盖的下方设有上保温筒,所述热屏是由热屏外壳、热屏内壳及中间的热屏保温层组成,热屏呈圆台状,且具有中央通道,热屏与热屏上盖之间的夹角为40‑50°,中央通道的纵剖面为梯形,热屏外侧滑动配合有延伸热屏,延伸热屏外侧连接有推动气缸,推动气缸的缸体固定于热屏上盖上。
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