[发明专利]单晶炉用热屏蔽器无效
| 申请号： | 201210205703.9 | 申请日： | 2012-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN102758246A | 公开（公告）日： | 2012-10-31 |
| 发明（设计）人： | 林游辉 | 申请（专利权）人： | 合肥景坤新能源有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人： | 方峥 |
| 地址： | 231600 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了单晶炉用热屏蔽器，包括有围绕于硅单晶棒外热屏，热屏的上端连接有热屏上盖，热屏上盖的下方设有上保温筒，所述热屏是由热屏外壳、热屏内壳及中间的热屏保温层组成，热屏呈圆台状，且具有中央通道，热屏与热屏上盖之间的夹角为40-50°，中央通道的纵剖面为梯形。由于热屏减弱了加热器对晶体的热辐射，同时也减弱了对固-液界面热辐射力度，在一定程度上增加了熔硅的纵向温度梯度。同时采用热屏后，加强了氩（氮）气流对固-液界面的吹拂，增强了氩（氮）气流携带结晶潜热的作用因此有利于单晶生长，并可以提高结晶速率，进而提高拉晶速率。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶炉用热 屏蔽 | ||
【主权项】：
单晶炉用热屏蔽器，其特征在于：包括有围绕于硅单晶棒外热屏，热屏的上端连接有热屏上盖，热屏上盖的下方设有上保温筒，所述热屏是由热屏外壳、热屏内壳及中间的热屏保温层组成，热屏呈圆台状，且具有中央通道，热屏与热屏上盖之间的夹角为40‑50°，中央通道的纵剖面为梯形。
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