[发明专利]一种选择性扩散的实现方式

摘要

本发明涉及一种选择性扩散的实现方式，先根据电池片表面栅线图形设计模具的图形，使电池片中电极部分对应重扩散区域，对应模具中的凹进区出区域，电极之间为浅扩散区域，对应模具中凸出区域；然后用悬涂机器在表面悬涂含掺杂剂的溶胶凝胶源，用模具压制硅片，压制后，硅片表面悬涂的掺杂源将是凹凸不平的形状，模具中凹进去的部分对应为掺杂较多的地方，为重扩散区，模具中凸出来的部分对应掺杂源较少区域，为浅扩散区，这样就实现图形转移。本发明大大降低了由于网版变形等导致的印刷偏移，提升产线良率，比较容易实现产业化。

主权项

一种选择性扩散的实现方式，其特征在于包括以下步骤：1）根据电池片表面栅线图形设计模具的图形；2）清洗硅片，抛光或制绒；3）用悬涂机器在硅片表面悬涂含掺杂剂的扩散源；4）用制作好的模具压制硅片，将模具上的图形转移至硅片表面；5）烘干硅片表面的扩散源；6）硅片进入高温扩散设备进行扩散。