[发明专利]导电基板及其制造方法，以及太阳能电池

摘要

一种导电基板的制造方法，其包括下列步骤。提供一基板。以一常压等离子工艺于基板上形成具有一第一粗化表面的一阻挡层，其中以常压电压工艺所形成的第一粗化表面的表面粗糙度(Ra)介于10纳米至100纳米之间。以一真空溅镀工艺于阻挡层的第一粗化表面上形成一第一电极层，第一电极层的表面系具有一第二粗化表面，该第二粗化表面的表面粗糙度(Ra)介于10纳米至100纳米之间。此外，更可于第一电极层的第二粗化表面上形成一光电转换层。于光电转换层上形成一第二电极层。本发明另提供一种太阳能电池及导电基板。

主权项

一种导电基板的制造方法，包括：提供一基板；以一常压等离子工艺于该基板上形成具有一第一粗化表面的一阻挡层，其中以该常压电压工艺所形成的该第一粗化表面的表面粗糙度Ra介于10纳米至100纳米之间；以及以一真空溅镀工艺于该阻挡层的该第一粗化表面上形成一第一电极层，该第一电极层的表面系具有一第二粗化表面，该第二粗化表面的表面粗糙度Ra介于10纳米至100纳米之间。