[发明专利]一种微透镜的制备方法及其产品

摘要

本发明公开了一种微透镜的制备方法及其产品，该方法包括：在基片上执行光刻工艺以形成直径与微透镜的设计直径相等的凸台结构；对所形成的凸台结构执行刻蚀工艺并清洗掉光刻胶，形成由基片材料构成的凸台结构；在基片及凸台结构上再次执行光刻工艺，以在凸台结构上形成其直径小于凸台直径的圆柱形结构；将所获得的制品放置在丙酮蒸气环境中，通过丙酮蒸气对圆柱形结构的腐蚀，由此形成具备球冠结构的微透镜；以及通过刻蚀工艺或倒模工艺将光刻胶材料构成的微透镜予以转移，相应形成最终制得的微透镜产品。通过本发明，能够有效避免光刻胶热熔法所存在的接触角不足、透镜球面面型误差较大的缺陷，并制备高质量、小接触角且尺寸更大的微透镜产品。

主权项

一种微透镜的制备方法，该方法包括下列步骤：（1）在基片上涂覆光刻胶并采用圆形掩膜执行光刻工艺，经显影后，在基片上形成由光刻胶材料构成且其直径与微透镜的设计直径相等的凸台结构；（2）对步骤（1）所形成的凸台结构执行刻蚀工艺，然后清洗掉光刻胶，由此在基片上形成由基片材料构成且其直径与微透镜的设计直径相等的凸台结构；（3）在经过步骤（2）处理后的整个基片及所述凸台结构上再次涂覆光刻胶，并在所述凸台结构上采用圆形掩膜执行光刻工艺，经显影后，在所述凸台结构上形成由光刻胶材料构成且其直径小于凸台直径的圆柱形结构；（4）将步骤（3）所获得的制品放置在丙酮蒸气环境中，通过丙酮蒸气对所述圆柱形结构的腐蚀，由此形成具备球冠结构的微透镜；（5）通过刻蚀工艺或倒模工艺将光刻胶材料构成的微透镜予以转移，相应形成最终制得的微透镜产品。