[发明专利]基于巨磁阻效应的微机械陀螺仪

摘要

本发明公开了一种基于巨磁阻效应的微机械陀螺仪，包括：键合基板；两组巨磁敏电阻，两组巨磁敏电阻设在键合基板的上表面，且两组巨磁敏电阻分别由回折形电阻构成；和微陀螺，微陀螺设在键合基板的上方并与键合基板连接，且微陀螺包括：对应地设在两组巨磁敏电阻上方的两个敏感质量块，两个敏感质量块的下表面上设有铁磁性薄膜层且铁磁性薄膜层与巨磁敏电阻的上表面之间间隔开，且敏感质量块可沿垂直于所述巨磁敏电阻的上表面的方向振动。根据本发明实施例的基于巨磁阻效应的微机械陀螺仪，采用整体结构设计，电路设计简单、使用方便、可靠性好，适合微型化。

主权项

一种基于巨磁阻效应的微机械陀螺仪，其特征在于，包括：键合基板；两组巨磁敏电阻，所述两组巨磁敏电阻设在所述键合基板的上表面，且所述两组巨磁敏电阻分别由回折形电阻构成；和微陀螺，所述微陀螺设在所述键合基板的上方并与所述键合基板连接，且微陀螺包括：对应地设在所述两组巨磁敏电阻上方的两个敏感质量块，所述两个敏感质量块的下表面上设有铁磁性薄膜层且所述铁磁性薄膜层与所述巨磁敏电阻的上表面之间间隔开，且所述敏感质量块可沿垂直于所述巨磁敏电阻的上表面的方向振动。