[发明专利]终端为LDMOS的高压VDMOS管无效

专利信息
申请号: 201210209102.5 申请日: 2012-06-25
公开(公告)号: CN102693981A 公开(公告)日: 2012-09-26
发明(设计)人: 左义忠;李强;高宏伟;蒋和平 申请(专利权)人: 吉林华微电子股份有限公司
主分类号: H01L27/07 分类号: H01L27/07;H01L29/78
代理公司: 长春菁华专利商标代理事务所 22210 代理人: 陶尊新
地址: 132013*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 终端为LDMOS的高压VDMOS管,在保持VDMOS管的高耐压特性的同时,增大电流工作区,还使得芯片尺寸减小,从而降低衬底材料消耗,属于半导体器件制造技术领域。现有高压VDMOS管由于杂质扩散结深比较浅,要想使器件具有更高的击穿耐压,不论哪种终端,其占用芯片面积均较大,另外,各种终端均不属于芯片电流工作区,作为芯片的组成部分没有得到充分利用。本发明其特征在于,其终端为LDMOS,LDMOS与VDMOS管的共用一个源极S和漏极D,LDMOS的门极与VDMOS管的门极G并联,LDMOS的耐压区由多个P-区与多个N区交替排列构成。采用LDMOS充当高压VDMOS管终端,在发挥耐压作用的同时增大VDMOS管的电流工作区,通态电阻较低,明显提高VDMOS管的电流处理能力。相比各种现有终端,LDMOS尺寸较小,所占用的芯片面积也较小。
搜索关键词: 终端 ldmos 高压 vdmos
【主权项】:
一种终端为LDMOS的高压VDMOS管,其特征在于,其终端为LDMOS,LDMOS与VDMOS管共用一个源极S和漏极D,LDMOS的门极与VDMOS管的门极G并联,LDMOS的耐压区由多个P‑区与多个N区交替排列构成。
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