[发明专利]固态成像元件及其制造方法、电子装置及其制造方法

摘要

本技术涉及固态成像元件及其制造方法、电子装置及其制造方法。本技术的固态成像元件的制造方法包括形成透镜的步骤，所述透镜各自设置成与配置在半导体基板之上的成像区域中的多个像素中的相应一个的受光部相对应，并且向所述受光部上聚集光；通过使用具有遮光能力的材料在所述透镜上进行膜沉积来形成遮光层的步骤；以及通过以在所述透镜之间的分界部分处残留具有遮光能力的材料的方式蚀刻所述遮光层，来在彼此相邻的透镜之间的分界部分处形成由所述具有遮光能力的材料构成的遮光部的步骤。

主权项

一种用于制造固态成像元件的方法，包括：形成透镜的步骤，所述透镜各自设置成与配置在半导体基板之上的成像区域中的多个像素中的相应一个的受光部相对应，并且向所述受光部上聚集光；通过使用具有遮光能力的材料在所述透镜上进行膜沉积来形成遮光层的步骤；以及通过以在所述透镜之间的分界部分处残留具有遮光能力的材料的方式蚀刻所述遮光层，来在彼此相邻的透镜之间的分界部分处形成由所述具有遮光能力的材料构成的遮光部的步骤，所述方法还包括：在形成透镜的步骤与形成遮光层的步骤之间，通过使用相对于所述具有遮光能力的材料具有蚀刻选择性的材料，来在所述透镜上形成蚀刻阻止膜的步骤。