[发明专利]透射式衍射光栅以及检测装置有效
申请号: | 201210214061.9 | 申请日: | 2012-06-25 |
公开(公告)号: | CN102841395B | 公开(公告)日: | 2017-03-01 |
发明(设计)人: | 尼子淳 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | G02B5/18 | 分类号: | G02B5/18;G01J3/18 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司11240 | 代理人: | 余刚,吴孟秋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供了一种透射式衍射光栅及检测装置。该透射式衍射光栅包括偏振转换层;第一衍射层,配置于偏振转换层的一个表面侧;以及第二衍射层,配置于偏振转换层的另一表面侧。第一衍射层以及第二衍射层都具有沿第一方向以周期P排列的折射率调制结构,并且对TE偏振光分量的衍射效率比对TM偏振光分量的衍射效率高。 | ||
搜索关键词: | 透射 衍射 光栅 以及 检测 装置 | ||
【主权项】:
一种透射式衍射光栅,其特征在于,具有:偏振转换层;第一衍射层,配置于所述偏振转换层的一个表面侧;以及第二衍射层,配置于所述偏振转换层的另一表面侧;所述第一衍射层以及所述第二衍射层都具有沿第一方向以周期P排列的折射率调制结构,并且对TE偏振光分量的衍射效率比对TM偏振光分量的衍射效率高,所述第一衍射层以及所述第二衍射层分别具有由电介质形成的倾斜面,所述倾斜面相对于基准线倾斜配置,当设入射光的入射角相对于所述基准线为角度θ1、设衍射光的衍射角相对于所述基准线为角度θ2时,所述入射角θ1是小于相对于所述倾斜面的布拉格角θ的角度,所述衍射角θ2是大于所述布拉格角θ的角度。
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