[发明专利]一种p型CuAlO2陶瓷靶材的制备方法无效
| 申请号： | 201210214651.1 | 申请日： | 2012-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN102731081A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 黄靖云;陈奇 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | C04B35/44 | 分类号： | C04B35/44;C04B35/622 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 韩介梅 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种p型CuAlO2陶瓷靶材的制备方法，该方法以纯Cu2O、纯Al2O3和纯ZnO粉末按摩尔比1：1-x：x为原料，0.00%≤x≤3.00%，经过球磨、烘干、研磨、预烧、烧结等过程，制得p型CuAlO2陶瓷靶材。该方法工艺简单，成本低，烧结过程无需气氛保护、无需控制炉内压强。采用该方法制备的p型CuAlO2靶材结构致密，无气孔裂纹。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 cualo sub 陶瓷 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种p型CuAlO2陶瓷靶材的制备方法，其特征在于步骤如下：1）将纯Cu2O、纯Al2O3和纯ZnO粉末按摩尔比1：1‑x：x放入球磨罐中，0.00%≤x≤3.00%，加入酒精球磨24‑48小时后烘干，得到混合均匀的粉末；2）将上述获得的粉末放入坩埚中进行预烧结，预烧结条件为：以5℃/min的升温速率从室温升至800℃，在800℃保温1小时，然后以5℃/min的升温速率升至1050℃，保温2‑4小时后随炉冷却至室温；3）将预烧结的粉末进行研磨，然后放入球磨罐中，球磨成为粒径400目以下且混合均匀的粉末；再放入玛瑙研钵进行研磨，研磨过程中加入1‑3滴聚乙烯醇粘结剂，确保粘结剂与粉末混合均匀；4）利用压片机将研磨好的粉末压制成厚度3mm直径40mm～60mm的靶材；5）以5℃/min的升温速率对靶材进行烧结，其中在800℃保温1小时，最高烧结温度1200℃保温4‑8小时，然后随炉冷却至室温。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江大学，未经浙江大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210214651.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- P型透明导电氧化物CuAlO<SUB>2</SUB>薄膜的制备方法
- 一种透明导电氧化物CuAlO<SUB>2</SUB>薄膜的制备方法
- 一种CuAlO<sub>2</sub>粉体的制备方法
- 一种红外透明导电薄膜及其制备方法
- 一种制备p型CuAlO<sub>2</sub>透明导电薄膜的方法
- 一种透明导电氧化物CuAlO<sub>2</sub>薄膜的制备方法
- 一种调节CuAlO<sub>2</sub>陶瓷电导率的方法及CuAl<sub>1-x</sub>Y<sub>x</sub>O<sub>2</sub>陶瓷制备方法
- 基于氧化镓/CuAlO2异质结日盲型紫外探测器的制备方法
- 一种氮掺杂CuAlO<sub>2</sub>薄膜的制备方法
- 一种基于CuAlO<base:Sub>2
- 一种Nd<sub>2</sub>O<sub>3</sub>-Yb<sub>2</sub>O<sub>3</sub>改性的La<sub>2</sub>Zr<sub>2</sub>O<sub>7</sub>-(Zr<sub>0.92</sub>Y<sub>0.08</sub>)O<sub>1.96</sub>复相热障涂层材料
- 无铅[(Na<sub>0.57</sub>K<sub>0.43</sub>)<sub>0.94</sub>Li<sub>0.06</sub>][(Nb<sub>0.94</sub>Sb<sub>0.06</sub>)<sub>0.95</sub>Ta<sub>0.05</sub>]O<sub>3</sub>纳米管及其制备方法
- 磁性材料HN(C<sub>2</sub>H<sub>5</sub>)<sub>3</sub>·[Co<sub>4</sub>Na<sub>3</sub>(heb)<sub>6</sub>(N<sub>3</sub>)<sub>6</sub>]及合成方法
- 磁性材料[Co<sub>2</sub>Na<sub>2</sub>(hmb)<sub>4</sub>(N<sub>3</sub>)<sub>2</sub>(CH<sub>3</sub>CN)<sub>2</sub>]·(CH<sub>3</sub>CN)<sub>2</sub> 及合成方法
- 一种Bi<sub>0.90</sub>Er<sub>0.10</sub>Fe<sub>0.96</sub>Co<sub>0.02</sub>Mn<sub>0.02</sub>O<sub>3</sub>/Mn<sub>1-x</sub>Co<sub>x</sub>Fe<sub>2</sub>O<sub>4</sub> 复合膜及其制备方法
- Bi<sub>2</sub>O<sub>3</sub>-TeO<sub>2</sub>-SiO<sub>2</sub>-WO<sub>3</sub>系玻璃
- 荧光材料[Cu<sub>2</sub>Na<sub>2</sub>(mtyp)<sub>2</sub>(CH<sub>3</sub>COO)<sub>2</sub>(H<sub>2</sub>O)<sub>3</sub>]<sub>n</sub>及合成方法
- 一种(Y<sub>1</sub>-<sub>x</sub>Ln<sub>x</sub>)<sub>2</sub>(MoO<sub>4</sub>)<sub>3</sub>薄膜的直接制备方法
- 荧光材料(CH<sub>2</sub>NH<sub>3</sub>)<sub>2</sub>ZnI<sub>4</sub>
- Li<sub>1.2</sub>Ni<sub>0.13</sub>Co<sub>0.13</sub>Mn<sub>0.54</sub>O<sub>2</sub>/Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>复合材料的制备方法
