[发明专利]锥型波导辅助的级联长周期波导光栅传感器及其制备方法

摘要

本发明提出了一种锥型波导辅助的级联长周期波导光栅传感器及其制备方法，本传感器由第一个长周期波导光栅经过锥型波导连接第二个长周期波导光栅组成。该传感器结合了级联长周期波导光栅的马赫曾德效应和锥型波导的强渐逝场致高灵敏度特性，具有灵敏度高和响应快的优良特性。该传感器采用简单成熟的紫外光刻法和反应离子刻蚀法的制作工艺。相比于长周期光纤光栅和光纤熔锥的复合器件，该发明具有结构简单、灵敏度高、制作工艺简便等优点，在光波导传感器件领域中具有广阔的应用前景。

主权项

一种锥型波导辅助的级联长周期波导光栅传感器，是一个基于锥型波导辅助的级联长周期光栅，其特征在于所述基于锥型波导辅助的级联长周期光栅由三部分相连构成：第一个长周期波导光栅(1)经过锥型波导(2)，连接第二个长周期波导光栅(3)，其中三个部分的芯层折射率相同，它们的包层折射率也相同。