[发明专利]一种溶胶凝胶法制备铪铟锌氧薄膜的方法

摘要

本发明公开了一种溶胶凝胶法制备铪铟锌氧（HfInZnO）薄膜的方法，属于半导体薄膜与器件领域。包括以下步骤：a,制备前驱体溶液和溶胶；b，采用旋涂法在洁净的基片上镀膜；c，预烘烤；d，高温退火；采用溶胶凝胶法制备的铪铟锌氧薄膜，设备简单，不需要任何真空条件，成本低，污染小易于实现，镀膜效率高。

主权项

一种用溶胶凝胶法制备铪铟锌氧薄膜的方法，其特征在于，包含以下步骤：a、按铪、铟、锌的摩尔比为2:4:3称量氯化铪，硝酸铟和醋酸锌，依次倒入20ml乙二醇甲醚中在70℃下搅拌一小时至完全溶解，获得摩尔浓度为0.1mol/L的混合均匀的前驱体溶液；然后在逐滴加入稳定剂单乙醇胺，使溶液中离子浓度与单乙醇胺的摩尔比为1，在磁力搅拌的情况下，将配制好的溶液水浴70℃，保温1小时，形成溶胶；b、将预处理后的玻璃基片粘贴在旋涂机上，将步骤a中所得的溶胶采用旋涂法在40×40mm的玻璃基片上镀膜，转速500rpm持续18±5s，转速2000rpm持续60±5s；c、将旋涂后的玻璃基片放到150℃热板上烘烤15分钟，然后放入退火炉中升温至400℃退火15分钟；d、最后在退火炉中加热至400℃退火1小时。