[发明专利]有机层沉积设备

摘要

本发明公开了一种可以在沉积工艺期间与基板精确地对准的有机层沉积设备。所述有机层沉积设备包括：沉积源；沉积源喷嘴单元；图案化缝隙片，与基板分隔开且比基板小，并且具有沿着垂直于第一方向的第二方向布置的多个图案化缝隙。在基板相对于有机层沉积设备沿着第一方向移动的同时执行沉积。图案化缝隙片包括彼此隔开设置的第一对准标记和第二对准标记。基板包括彼此隔开设置的第一对准图案和第二对准图案。所述有机层沉积设备还包括用来拍摄第一对准标记/图案的第一相机组件和用来拍摄第二对准标记/图案的第二相机组件。基板的移动速度与第一相机组件和第二相机组件的拍摄速度同步。

主权项

一种用来在基板上形成有机层的有机层沉积设备，所述有机层沉积设备包括：沉积源，被构造为排放沉积材料；沉积源喷嘴单元，设置在沉积源的一侧并且包括沿着第一方向布置的多个沉积源喷嘴；以及图案化缝隙片，与沉积源喷嘴单元相对地设置并且具有沿着垂直于第一方向的第二方向布置的多个图案化缝隙，图案化缝隙片在第一方向和第二方向中的至少一个方向上比基板小，其中，在基板与图案化缝隙片隔开并且相对于有机层沉积设备沿着第一方向移动的同时执行沉积，图案化缝隙片包括彼此隔开设置的第一对准标记和第二对准标记，基板包括彼此隔开设置的第一对准图案和第二对准图案，所述有机层沉积设备还包括用来拍摄第一对准标记和第一对准图案的第一相机组件以及用来拍摄第二对准标记和第二对准图案的第二相机组件，基板的移动速度与第一相机组件和第二相机组件的拍摄速度同步，从而当基板与有机层沉积设备适当地对准时，被第一相机组件捕获的第一对准图案的图像基本彼此相同，被第二相机组件捕获的第二对准图案的图像基本彼此相同。