[发明专利]固体摄像器件、其制造方法以及电子装置

摘要

本发明公开了固体摄像器件、其制造方法以及电子装置。该固体摄像器件包括：光电转换部，其包括形成在半导体层中的第一导电型的电荷累积区；像素，其包括所述光电转换部以及像素晶体管；像素区域，其中布置有多个所述像素；第一导电型的外延生长半导体层，其形成在沟槽的内壁部上，所述沟槽设置于所述像素区域内至少相邻像素之间的所述半导体层中；以及像素分离部，其用于使所述相邻像素的电荷累积区彼此分离，所述像素分离部形成在所述第一导电型的外延生长半导体层的内侧上。本发明的固体摄像器件能够减小像素分离部的宽度并增加光电转换部的面积。

主权项

一种固体摄像器件，其包括：光电转换部，其包括形成在半导体层中的第一导电型的电荷累积区；像素，其包括所述光电转换部以及像素晶体管；像素区域，在所述像素区域中布置有多个所述像素；第一导电型的外延生长半导体层，其形成在沟槽的内壁部上，所述沟槽设置于至少位于所述像素区域内相邻的所述像素之间的所述半导体层中；以及像素分离部，其用于使相邻的所述像素的电荷累积区彼此分离，所述像素分离部形成在所述第一导电型的外延生长半导体层的内侧上。