[发明专利]真空管无效
申请号: | 201210217130.1 | 申请日: | 2012-06-28 |
公开(公告)号: | CN103511795A | 公开(公告)日: | 2014-01-15 |
发明(设计)人: | 沈文伟 | 申请(专利权)人: | 沈文伟 |
主分类号: | F16L59/065 | 分类号: | F16L59/065;F16L59/02 |
代理公司: | 常州市夏成专利事务所(普通合伙) 32233 | 代理人: | 沈兵 |
地址: | 213000 江苏省常*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种PECVD设备的技术领域,尤其是一种真空管。其包括外管、内管、真空腔、端部密封板和吸热层,外管与内管连接,外管与内管之间设有真空腔,外管一端设有端部密封板,内管外壁上设有一层吸热层,内管长度大于外管,内管伸出外管一端上设有螺纹。这种真空管结构简单、紧凑并且合理,装配方便快捷,连接可靠,保温效果和密封效果好,抗腐蚀性高,提高了热利用效率,延长了真空管的使用寿命,大大提高了真空管工作的可靠性,易于使用推广。 | ||
搜索关键词: | 真空管 | ||
【主权项】:
一种真空管,包括外管(1)、内管(2)、真空腔(3)、端部密封板(4)和吸热层(11),外管(1)与内管(2)连接,其特征是,外管(1)与内管(2)之间设有真空腔(3),外管(1)一端设有端部密封板(4),内管(2)外壁上设有一层吸热层(11)。
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