[发明专利]利用化学键结形成化合物磊晶层的方法及磊晶产品

摘要

本发明是一种利用化学键结形成化合物磊晶层的方法及磊晶产品，该方法包括：在一基材载板上形成一接触层；使该接触层表面的该非金属原子形成非金属离子，并使该非金属离子与该接触层表面的原子相互结合，形成一不饱和离子键结层；激发该非金属离子，使尚未与该接触层表面的原子相互结合的其它键结成为悬空键结；导入有机金属化合物及反应气体，令该有机金属化合物的金属离子能均匀地与该悬空键结相结合，并使反应气体的阴离子以离子键结的方式与该金属离子相结合，以形成化合物磊晶层。故不仅能降低磊晶障壁，更能导引有机金属化合物的金属离子与该悬空键结均匀地结合。再者，其键结强度远大于传统的物理接触方式，故能有效避免各层分离剥落。

主权项

一种利用化学键结形成化合物磊晶层的方法，其特征在于，包括：在一基材载板上形成一接触层；在200℃以上的温度条件下，使该接触层表面的原子与非金属原子产生化学反应，令该非金属原子形成非金属离子，并使该非金属离子以化学键结方式与该接触层表面的原子相互结合，令该非金属离子在该接触层表面上形成一不饱和离子键结层；以能量激发的方式激发该非金属离子，使该非金属离子上尚未与该接触层表面的原子相互结合的其它键结，成为悬空键结；及利用化学气相沉积法，导入有机金属化合物及反应气体，令该有机金属化合物的金属离子能通过前述悬空键结的电偶极方向导引，与该悬空键结相结合，并使该反应气体的阴离子以离子键结的方式与该金属离子相结合，以形成化合物磊晶层。