[发明专利]具有角漂移自适应结构的表面等离子体共振折射率传感器

摘要

本发明涉及传感器及传感技术领域，具体涉及一种表面等离子体共振折射率传感器。它提出一种具有角漂移自适应结构的表面等离子体共振折射率传感器，包括：平行六面体棱镜、屋脊棱镜和金属薄膜；屋脊棱镜的长方形底面与平行六面体棱镜的右底面固定在一起；入射光从平行六面体棱镜的左底面垂直入射入，被镀有金属薄膜的平行六面体棱镜的上、下表面先后反射后，垂直入射到屋脊棱镜中并被屋脊棱镜反射，其反射光再次进入平行六面体棱镜并再次被镀有金属薄膜的平行六面体棱镜的下、上表面反射，然后从平行六面体棱镜出射，出射光与入射光平行但方向相反。本发明设计的对角漂移能够进行自动补偿的光学结构，有效地减小入射光角漂移引起的测量误差。

主权项

一种具有角漂移自适应结构的表面等离子体共振折射率传感器，它包括：平行六面体棱镜（101）、屋脊棱镜（102）和金属薄膜（103）；其特征在于：所述金属薄膜（103）镀在所述平行六面体棱镜（101）上、下两个表面，所述屋脊棱镜（102）的长方形底面与所述平行六面体棱镜（101）的右底面固定在一起，所述屋脊棱镜（102）的脊边平行于固定面；且所述平行六面体棱镜（101）的上表面与左底面的夹角θ0等于选定的入射角θinc；其中，所述平行六面体棱镜（101）与屋脊棱镜（102）采用光学透明介质材料；所述金属薄膜（103）采用能够产生表面等离子体共振效应的金属材料；所述金属薄膜（103）的厚度介于20nm－100nm之间；入射光从所述平行六面体棱镜（101）的左底面垂直入射进入所述平行六面体棱镜（101）内，被镀有金属薄膜（103）的所述平行六面体棱镜的上、下表面先后反射后，垂直入射到所述屋脊棱镜（102）中并被所述屋脊棱镜（102）反射，其反射光再次进入所述平行六面体棱镜（101）并再次被镀有金属薄膜（103）的所述平行六面体棱镜的下、上表面反射，然后从所述平行六面体棱镜（101）出射，出射光与入射光平行但方向相反。