[发明专利]基于压控振荡器的BTI测试装置及其测试方法有效
| 申请号： | 201210224114.5 | 申请日： | 2012-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN103513173A | 公开（公告）日： | 2014-01-15 |
| 发明（设计）人： | 林殷茵;董庆 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 上海元一成知识产权代理事务所(普通合伙) 31268 | 代理人： | 吴桂琴 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于压控振荡器（VCO）的偏压温度不稳定性（BTI）测试装置及其测试方法，属于半导体器件可靠性测试技术领域。本发明的BTI测试装置包括被测器件（DUT）、环形振荡器（RO）、模拟电压切换模块和第一个振荡周期测试模块；模拟电压切换模块用于控制DUT在电压应力偏置和BTI效应测试偏置之间进行切换；RO包括至少一个流控反相器，DUT用于控制经该流控反相器的电流，以至于RO与DUT形成其输出信号的频率受偏置于DUT的栅端的电压控制的VCO；第一个振荡周期测试模块能同步地测试输出VCO的输出信号的第一个周期的相关信号。该装置具有BTI测试灵敏度高、测量准确、测试速度快的优点，并且电路简单。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 压控振荡器 bti 测试 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种偏压温度不稳定性测试装置，其特征在于，包括被测器件、环形振荡器、模拟电压切换模块和第一个振荡周期测试模块；其中，所述模拟电压切换模块用于基于第一控制信号对偏置于所述被测器件的栅端的第一电压或第二电压进行切换控制，所示第一电压为使所述被测器件发生偏压温度不稳定性效应的电压，所述第二电压为使所述被测器件工作于亚阈值的电压；所述环形振荡器包括至少一个流控反相器，所述被测器件用于控制经该流控反相器的电流，以至于所述环形振荡器与所述被测器件形成其输出信号的频率至少地受偏置于所述被测器件的栅端的电压控制的压控振荡器；所述第一个振荡周期测试模块同步地受所述第一控制信号控制，以至于所述被测器件的栅端被切换至偏置所述第二电压时，所述压控振荡器的输出信号的第一个周期的相关信号被所述第一个振荡周期测试模块测试输出。
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