[发明专利]基于多模干涉器反射镜的反射式阵列波导光栅无效
| 申请号： | 201210224281.X | 申请日： | 2012-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN102778730A | 公开（公告）日： | 2012-11-14 |
| 发明（设计）人： | 黄华茂;胡海英 | 申请（专利权）人： | 华南理工大学 |
| 主分类号： | G02B6/293 | 分类号： | G02B6/293;G02B6/26 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 何淑珍 |
| 地址： | 510640 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供基于多模干涉器反射镜的反射式阵列波导光栅，包括输入波导、耦合器、阵列波导、反射镜和输出波导，输入波导和输出波导位于耦合器的同一侧，阵列波导位于耦合器的另一侧；所述阵列波导由多根纳米线波导组成，每一根纳米线波导的一端与耦合器相连，另一端与一个反射镜相连；反射镜是由多模干涉器和环型波导构成的平面波导结构。本发明的反射式阵列波导光栅完全基于平面光波导工艺，而且宽度最窄的波导是单模波导，制作精度的要求与普通纳米线阵列波导光栅的要求完全一致。采用基于多模干涉器的反射镜，反射镜对波长和制备工艺的误差不敏感。阵列波导的结构设计灵活，可根据需要任意布局。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 干涉 反射 阵列 波导 光栅 | ||
【主权项】：
基于多模干涉器反射镜的反射式阵列波导光栅，包括输入波导、耦合器、阵列波导、反射镜和输出波导，其特征是输入波导和输出波导位于耦合器的同一侧，阵列波导位于耦合器的另一侧；所述阵列波导由多根纳米线波导组成，每一根纳米线波导的一端与耦合器相连，每一根纳米线波导的另一端均各自连接一个反射镜。
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