[发明专利]一种硅片承载器的制造方法

摘要

一种硅片承载器的制造方法，该硅片承载器包括两平行侧板和连接两侧板的插片杆，其中一个实施方案的方法包括以下步骤：步骤1，通过注射模塑方法或者压制并机械加工的方法将一种热塑性树脂成型为所述侧板；步骤2，通过将长度为200-600mm的长杆预埋入模具内，在其周围注射入一种热塑性树脂，得到所述插片杆，所述模具的内腔的整体形状为能够完全包裹所述长杆的长圆柱形，并在一侧形成多个平行排列锯齿，在所述模具内腔的两端具有凸出的用于支撑所述长杆的凸起，在所述模具内腔沿长杆的长度方向分布有至少一对相互对立的用于支撑所述长杆的凸起；步骤3，将步骤2得到的所述初级插片杆放入另一模具中，以便再次注射入一种热塑性树脂将在步骤2形成的支撑孔填满，所述另一模具的内腔形状完全对应于所述初级插片杆的外形，并且与步骤2中模具的多个凸起相对应地具有多个树脂注入口；步骤4，通过加热焊接方法将所述插片杆固定在两侧板之间的相应位置上。

主权项

一种硅片承载器的制造方法，该硅片承载器包括两平行侧板和连接两侧板的插片杆，该方法包括以下步骤：步骤1，通过注射模塑方法或者压制并机械加工的方法将一种热塑性树脂成型为所述侧板；步骤2，通过将长度为200‑600mm的长杆预埋入模具内，在其周围注射入一种热塑性树脂，得到初级插片杆，所述模具的内腔的整体形状为能够完全包裹所述长杆的长圆柱形，并在一侧形成多个平行排列锯齿，在所述模具内腔的两端具有凸出的用于支撑所述长杆的凸起，在所述模具内腔沿长杆的长度方向分布有至少一对相互对立的用于支撑所述长杆的凸起；步骤3，采用以下A‑C三种方法之一封闭步骤2中支撑孔，得到插片杆：A．二次注射法：将步骤2得到的所述初级插片杆放入另一模具中，以便再次注射入一种热塑性树脂将在步骤2形成的支撑孔填满，所述另一模具的内腔形状完全对应于所述初级插片杆的外形，并且与步骤2中模具的多个凸起相对应地具有多个树脂注入口；B．超声波焊接法：将焊接料柱放入支撑孔中，利用超声波焊接装置将焊接料柱熔融填满支撑孔，所述焊接料柱的成分与步骤2中所述热塑性树脂的成分相同或不同；C．加热焊接法：将焊接料柱通过加热装置熔融后注入支撑孔中，将其填满，所述焊接料柱的成分与步骤2中所述热塑性树脂的成分相同或不同；步骤4，通过加热焊接方法将所述插片杆固定在两侧板之间的相应位置上。