[发明专利]气体内循环型热丝CVD金刚石膜生长装置

摘要

本发明涉及一种气体内循环型热丝CVD金刚石膜生长装置，该装置包括内设反应腔的密闭真空室。所述反应腔内壁顶端设有风扇，该风扇的下方设有多根并排直钨丝构成的热丝阵列；所述热丝阵列的两端接直流电，其下方设有衬底盘，该衬底盘上设有热电偶；所述风扇的侧上方的所述真空室外壁设有进气口；所述真空室外壁侧下方设有抽气口。本发明可以实现金刚石膜的大面积、高速率生长，减少氢气的消耗。

主权项

气体内循环型热丝CVD金刚石膜生长装置，其特征在于：该装置包括内设反应腔的密闭真空室；所述反应腔内壁顶端设有风扇（4），该风扇（4）的下方设有多根并排直钨丝构成的热丝阵列（1）；所述热丝阵列（1）的两端接直流电，其下方设有衬底盘（2），该衬底盘（2）上设有热电偶（3）；所述风扇（4）的侧上方的所述真空室外壁设有进气口（5）；所述真空室外壁侧下方设有抽气口（6）。