[发明专利]多晶硅生产中还原转化尾气回收所得氢气的纯化工艺无效
| 申请号： | 201210226544.0 | 申请日： | 2012-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN103523752A | 公开（公告）日： | 2014-01-22 |
| 发明（设计）人： | 王航舟;陈自力;孙晓龙;唐伟博;秦西鸣 | 申请（专利权）人： | 陕西天宏硅材料有限责任公司 |
| 主分类号： | C01B3/56 | 分类号： | C01B3/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 712038 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种多晶硅生产中还原转化尾气回收所得氢气的纯化工艺，流程图见附图1。它将多晶硅生产过程中，多晶硅生产中还原转化尾气回收所得氢气，在15bar、25-30℃时经过硅胶和活性炭为吸附剂的变温吸附器，去除回收氢气中微量的HCL、氯硅烷。然后再经过以分子筛为吸附剂的变压吸附器降低回收氢气中的甲烷、氮气。此整个工艺过程可以将氮气含量降至100ppmv以下，甲烷含量降至50ppmv以下，最后经过滤缓冲送至用气工段。本发明工艺流程将多晶硅生产中还原转化尾气回收所得氢气中原装置无法去除的甲烷、氮气含量降低，且投入成本低，运行费用相对低廉，适合工业化大规模生产。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 生产 还原 转化 尾气 回收 所得 氢气 纯化 工艺 | ||
【主权项】：
一种多晶硅生产中还原转化尾气回收所得氢气纯化工艺，其特征在于：它将多晶硅生产过程中，还原转化尾气回收所得产品氢气，在原有吸附塔处理完后，经过氢气净化在15bar、温度25‑35℃时，经过硅胶和活性炭为吸附剂的变温吸附器，去除氢气中微量的HCL、氯硅烷，再经过以分子筛为吸附剂的变压吸附器采用变压吸附工艺降低氢气中的甲烷、氮气含量，将氮气含量降至100ppmv以下，甲烷含量降至50ppmv以下，经过滤缓冲送至用气工段。
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