[发明专利]硅制部件的制造方法和蚀刻处理装置用的硅制部件在审
| 申请号： | 201210228415.5 | 申请日： | 2012-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN102856145A | 公开（公告）日： | 2013-01-02 |
| 发明（设计）人： | 长久保启一;今福光祐;大平贵彦 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/21 | 分类号： | H01J37/21;C01B33/021 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种硅制部件的制造方法和蚀刻处理装置用的硅制部件，其恰当地选择使用在蚀刻处理装置用的硅制部件中的废弃硅材料。该硅制部件的制造方法为对配置于蚀刻处理装置内的硅制部件进行由废弃硅材料再生利用而制造的蚀刻处理装置（10）用的硅制部件的制造方法，该硅制部件的制造方法的特征在于，包含：将上述废弃硅材料或含该废弃硅材料的材料投入到坩埚（55）进行熔化的工序；冷却并凝固上述已熔化的材料的工序；将包含上述凝固后的材料的至少上表面的部分切除，生成多晶硅的工序；和由上述生成的多晶硅制造上述硅制部件的工序。 | ||
| 搜索关键词： | 部件 制造 方法 蚀刻 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种硅制部件的制造方法，其为对配置于蚀刻处理装置内的硅制部件进行由废弃硅材料再生利用而制造的蚀刻处理装置用的硅制部件的制造方法，该硅制部件的制造方法的特征在于，包含：将所述废弃硅材料或含该废弃硅材料的材料投入到坩埚进行熔化的工序；冷却并凝固所述已熔化的材料的工序；将包含所述凝固后的材料的至少上表面的部分切除，生成多晶硅的工序；和由所述生成的多晶硅制造所述硅制部件的工序。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东京毅力科创株式会社，未经东京毅力科创株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210228415.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
