[发明专利]一种增加单位测试模块的可测器件Kelvin测试回路有效
申请号: | 201210228675.2 | 申请日: | 2012-07-03 |
公开(公告)号: | CN102769008A | 公开(公告)日: | 2012-11-07 |
发明(设计)人: | 周羽宇 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | H01L23/544 | 分类号: | H01L23/544;G01R27/08 |
代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人: | 王敏杰 |
地址: | 201210 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供一种增加单位测试模块的可测器件Kelvin测试回路,包括若干个单位测试模块、若干个压力单元、若干个栅极控制单元、高感单元、低感单元和接地单元,其特征在于,在每一个所述单位测试模块的四个端分别通过串联一CMOS器件连通至压力单元、高感单元、低感单元和接地单元;所述若干个单位测试模块共用同一个高感单元、低感单元和接地单元,所述CMOS器件的漏极端和栅极控制单元连通。本发明提供的可测器件Kelvin测试回路的结构简单,方便layout的布线,便于实现。提高测试面积的使用率,无论对量产产品的WAT测试,还是对研发的试作芯片的开发设计,都具有相当实用的价值。 | ||
搜索关键词: | 一种 增加 单位 测试 模块 器件 kelvin 回路 | ||
【主权项】:
一种增加单位测试模块的可测器件Kelvin测试回路,包括若干个单位测试模块、若干个压力单元、若干个栅极控制单元、高感单元、低感单元和接地单元,其特征在于,在每一个所述单位测试模块的四个端分别通过串联一CMOS器件连通至压力单元、高感单元、低感单元和接地单元;所述若干个单位测试模块共用同一个高感单元、低感单元和接地单元,所述CMOS器件的漏极端和栅极控制单元连通。
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