[发明专利]MEMS谐振器有效
| 申请号： | 201210228967.6 | 申请日： | 2012-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN102868383A | 公开（公告）日： | 2013-01-09 |
| 发明（设计）人： | 金·范乐 | 申请（专利权）人： | NXP股份有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/24 | 分类号： | H03H9/24;H03H9/125 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王波波 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一种MEMS谐振器，具有以闭环的形式锚定在所述环周围点上的谐振器块。一组环梳齿电极结构被固定在所述环上锚定点之间的位置，以便耦合去向/来自所述谐振器块的输入(驱动)和输出(感测)信号。 | ||
| 搜索关键词： | mems 谐振器 | ||
【主权项】：
一种MEMS谐振器，包括：谐振器质量块，以闭环(20)的形式存在；一组在所述环周围间隔开的一个或者多个锚定点(30)，其中所述环在所述锚定点上与固定衬底连接；一组固定在所述环上的环梳齿电极结构(32a‑32d)；至少一个驱动梳齿电极结构(34a、34b)，所述一个驱动梳齿电极结构(34a、34b)附着在所述衬底上，并且与固定在所述环(20)上的一组梳齿电极结构(32a、32b)的一个相互作用；至少一个感测梳齿电极结构(34c、34d)，所述一个感测梳齿电极结构(34c、34d)附着在所述衬底上，并且与固定在所述环(20)上的一组梳齿电极结构(32c、32d)中的另一个相互作用；以及控制电路，用于控制施加在至少一个驱动梳齿电极结构(34a、34b)上的信号。
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