[发明专利]一种卷绕镀膜机上在线监测金属氧化物气体的方法无效
| 申请号： | 201210229139.4 | 申请日： | 2012-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN102719800A | 公开（公告）日： | 2012-10-10 |
| 发明（设计）人： | 郭东升 | 申请（专利权）人： | 南昌欧菲光科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/52 | 分类号： | C23C14/52;C23C14/56 |
| 代理公司： | 南昌新天下专利商标代理有限公司 36115 | 代理人： | 施秀瑾 |
| 地址： | 330000 江西*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种在卷绕镀膜机上在线监测金属氧化物气体的方法，属于真空镀膜领域与气体分析领域。A）在卷绕镀膜机上的残余气体分析仪与感应探头以及计算机相连接；B）所述步骤A中的感应探头伸入到卷绕镀膜机上的镀膜腔中，对工艺气体轰击金属氧化物靶材所溅射出来的金属氧化物气体进行在线收集；C）通过步骤B收集的气体通过残余气体分析仪将待测气体的质谱图显示出来，并与标准气体库进行对比，就可确定气体的成分和含量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 卷绕 镀膜 在线 监测 金属 氧化物 气体 方法 | ||
【主权项】：
一种卷绕镀膜机上在线监测金属氧化物气体的方法，其特征在于，由以下步骤完成：A）、在卷绕镀膜机上的残余气体分析仪（5）与感应探头（4）以及计算机（6）相连接；B）、所述步骤A中的感应探头（4）伸入到卷绕镀膜机上的镀膜腔（7）中，对工艺气体轰击金属氧化物靶材所溅射出来的金属氧化物气体进行在线收集；所述的镀膜腔（7）包括镀膜鼓（1）、基材薄膜（2）、靶材（3）；所述镀膜鼓（1），内部有水循环冷却系统，基材薄膜（2）紧贴在其表面，镀膜工艺进行的过程当中，用来降低基材薄膜的温度，避免由于溅射温度太高使薄膜褶皱、融化；所述的靶材（3），是由金属氧化物烧结而成，该靶材（3）的材质由In2O3与 SnO2组成，In2O3与 SnO2按重量百分比具体为如下配比：In2O3占90%‑97%、SnO2占3%‑10%； C）、通过步骤B收集的气体通过残余气体分析仪（1）将待测气体的质谱图显示出来，并与标准气体库进行对比，就可确定气体的成分和含量。
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