[发明专利]多路气体质量流量计控制装置及控制方法有效
| 申请号： | 201210230724.6 | 申请日： | 2012-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN102759932A | 公开（公告）日： | 2012-10-31 |
| 发明（设计）人： | 侯振辉 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | G05D13/62 | 分类号： | G05D13/62 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多路气体质量流量计控制装置和控制方法，用于控制多路气体的质量流量，包括现场总线模块和主控模块，所述主控模块与现场总线模块通过有线或无线方式连接，所述现场总线模块能够与多个气体质量流量计相连接，并接受所述主控模块的控制指令，根据该控制指令控制多个气体质量流量计输出的气体质量流量。本发明通过主控模块和现场总线模块的通信实现了对多路气体质量流量计进行联合(或单独)精确控制，实现对多路气体进行任意流量比例的精确汇流或对单路气体进行任意流量比例的精确分流，提高了对气体流速的控制精度(优于1ml/min)，并可以实现自动增减气体流速。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 质量 流量计 控制 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种多路气体质量流量计控制装置，用于控制多路气体的质量流量，其特征在于，包括现场总线模块(2)和主控模块(3)，所述主控模块(3)与现场总线模块(2)通过有线或无线方式连接，所述现场总线模块(2)能够与多个气体质量流量计(8)相连接，并接受所述主控模块(3)的控制指令，根据该控制指令控制该多个气体质量流量计(8)输出的气体质量流量。
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