[发明专利]输送装置有效
| 申请号： | 201210231228.2 | 申请日： | 2012-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN102862819A | 公开（公告）日： | 2013-01-09 |
| 发明（设计）人： | 北川淳一;若林秀纪 | 申请（专利权）人： | 佳能安内华股份有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 吕林红 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够抑制微粒产生的输送装置。输送装置包括腔室；基板支承体，支承基板，并能够沿着腔室内的路径移动；第1磁齿条，具有呈直线排列于基板支承体的多个齿条磁铁；第1磁小齿轮，具有多个小齿轮磁铁，配置于第1磁齿条的侧方，与第1磁齿条磁耦合；以及支承构件，以使基板支承体能够移动的方式支承该基板支承体，通过使第1磁小齿轮旋转而使基板支承体移动。 | ||
| 搜索关键词： | 输送 装置 | ||
【主权项】：
一种输送装置，其特征在于，该输送装置包括：腔室；基板支承体，支承基板，并能够沿着上述腔室内的路径移动；第1磁齿条，具有呈直线排列于上述基板支承体的多个齿条磁铁；第1磁小齿轮，具有多个小齿轮磁铁，配置于上述第1磁齿条的侧方，与上述第1磁齿条磁耦合；以及支承构件，以使上述基板支承体能够移动的方式支承该基板支承体，通过使上述第1磁小齿轮旋转而使上述基板支承体移动。
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