[发明专利]一种类金刚石薄膜韧性的表征方法有效
| 申请号： | 201210232088.0 | 申请日： | 2012-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN102809514A | 公开（公告）日： | 2012-12-05 |
| 发明（设计）人： | 于翔;宁振武;王成彪;付志强;彭志坚;岳文 | 申请（专利权）人： | 中国地质大学（北京） |
| 主分类号： | G01N3/28 | 分类号： | G01N3/28 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 蒋常雪 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种类金刚石薄膜韧性的表征方法，所述方法为结合利用划痕试验和冲击试验系统表征薄膜韧性。利用多离子束辅助沉积技术在金属基材表面制备出一种含金属的DLC薄膜，在DLC薄膜中掺杂非碳化物形成金属例如Ag（银）改善薄膜韧性，实验结果表明，本发明结合利用划痕试验（划痕韧性）和冲击试验（冲击韧性）能够表征薄膜韧性，可以实现发明目的。 | ||
| 搜索关键词： | 种类 金刚石 薄膜 韧性 表征 方法 | ||
【主权项】：
一种类金刚石薄膜韧性的表征方法，其特征在于：所述方法为结合利用划痕试验和冲击试验系统表征薄膜韧性。
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