[发明专利]离焦量测试系统及测试方法有效
| 申请号： | 201210232918.X | 申请日： | 2012-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN102749185A | 公开（公告）日： | 2012-10-24 |
| 发明（设计）人： | 陈永权;段亚轩;赵建科;赛建刚;李坤;张洁;胡丹丹 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 姚敏杰 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种离焦量测试系统及测试方法，该离焦量测试系统包括光源、小口径缩束系统、大口径缩束系统、自准元件以及波前测试装置；小口径缩束系统包括分光镜、准直物镜以及准直目镜；分光镜设置在光源的出射光路上；所述准直物镜设置在经分光镜透射后的透射光路上；大口径缩束系统以及自准元件依次设置在经分光镜与准直物镜透射后的透射光路上；透射光依次经过大口径缩束系统以及自准元件后形成自准光；自准光依次经过大口径缩束系统、准直物镜以及分光镜后并由分光镜反射至准直目镜；波前测试装置设置在经准直目镜透射后的透射光路上。本发明提出了一种集成度高、结构紧凑以及自动化程度高的离焦量测试系统及测试方法。 | ||
| 搜索关键词： | 离焦量 测试 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种离焦量测试系统，其特征在于：所述离焦量测试系统包括光源、小口径缩束系统、大口径缩束系统、自准元件以及波前测试装置；所述小口径缩束系统包括分光镜、准直物镜以及准直目镜；所述分光镜设置在光源的出射光路上；所述准直物镜设置在经分光镜透射后的透射光路上；所述大口径缩束系统以及自准元件依次设置在经分光镜与准直物镜透射后的透射光路上；所述透射光依次经过大口径缩束系统以及自准元件后形成自准光；所述自准光依次经过大口径缩束系统、准直物镜以及分光镜后并由分光镜反射至准直目镜；所述波前测试装置设置在经准直目镜透射后的透射光路上。
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