[发明专利]一种大尺寸类单晶籽晶及其生产工艺无效
申请号: | 201210234392.9 | 申请日: | 2012-07-06 |
公开(公告)号: | CN102758243A | 公开(公告)日: | 2012-10-31 |
发明(设计)人: | 孙勇 | 申请(专利权)人: | 无锡中硅科技有限公司 |
主分类号: | C30B11/14 | 分类号: | C30B11/14;C30B28/06;B28D5/00 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 楼高潮 |
地址: | 214000 江苏省无锡市江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公布了一种大尺寸类单晶籽晶,其特征在于:其长度为700-1200mm,厚度为5-30mm,宽度为50-400mm。一种大尺寸类单晶籽晶的生产工艺,包括下述步骤:(1)将大直径单晶硅棒去头尾,切割成设定长度尺寸;(2)将去头尾的单晶硅棒纵向切割成设定厚度的薄片;(3)将切割好的薄片去边皮,得到最终成品。本发明大尺寸类单晶籽晶面积大,拼接数量少,更利于类单晶的铸锭。本发明大尺寸类单晶籽晶工艺可以在同等长度和直径大小的单晶硅棒中做出更多的籽晶产品,因其最大范围的使用了整个单晶硅棒的圆面积使得利用率大大提高,也使生产成本得到了降低。 | ||
搜索关键词: | 一种 尺寸 类单晶 籽晶 及其 生产工艺 | ||
【主权项】:
一种大尺寸类单晶籽晶,其特征在于:一种大尺寸类单晶籽晶,其特征在于:其长度为700‑1200mm,厚度为5‑30mm,宽度为50‑400mm。
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