[发明专利]全固态四次谐波紫外激光器

摘要

本发明提供一种一种全固态四次谐波紫外激光器。它由端全反镜、激光增益介质、调Q开关、中间镜一、二倍频晶体、中间镜二、四倍频晶体、输出镜构成。通过调Q方式产生高峰值功率的基波脉冲；基波脉冲在二倍频晶体内产生二次谐波，二次谐波入射到四倍频晶体产生四次谐波紫外激光；采用聚焦二次谐波和二次谐波来回经过四倍频晶体的设计，实现二次谐波的光斑半径可控，充分利用二次谐波功率，获得高效的四次谐波紫外激光输出，实现结构简单，成本低的效果。

主权项

一种全固态四次谐波紫外激光器，其特征在于：产生二次谐波和四次谐波的元件在光路上依次包括中间镜一（4）、二倍频晶体（5）、中间镜二（6）、四倍频晶体（7）和输出镜（8），所述输出镜（8）为平凹镜片，其曲率半径大于中间镜二（6）和输出镜（8）之间的距离，且凹面正对四倍频晶体（7），所述中间镜一（4）镀基波波长高透和二次谐波波长高反膜，所述中间镜二（6）镀基波、四次谐波波长高反和二次谐波波长高透膜，所述输出镜（8）镀二次谐波波长高反和四次谐波波长高透膜；利用在端全反镜（1）和中间镜一（4）之间谐振由激光增益介质（2）产生的高功率密度基波作用到二倍频晶体（5）上产生二次谐波；所述二次谐波经过中间镜（6）后入射到所述四倍频晶体（7）上产生四次谐波，所述输出镜（8）反射并聚焦未转换为四次谐波的二次谐波，使其再次经过四倍频晶体（7）， 产生累积的四次谐波，所述累积的四次谐波从所述输出镜（8）耦合输出。