[发明专利]一种CoSb3纳米颗粒薄膜的制备方法

摘要

本发明涉及CoSb3热电材料，特指一种CoSb3纳米颗粒薄膜的制备方法。首先按摩尔比1:3称量CoCl2·6H2O粉末和Sb粉末，分别装入各自坩埚中，并将坩埚和载玻片衬底置入石英管内；石英管置入水平管式炉内，多次抽真空和通入95%的氩气和5%的氢气的混合气，排除石英管内的氧气；管式炉升温，低压状态下，在载玻片衬底上化学气相沉积得到CoSb3纳米颗粒薄膜；测试其Seebeck系数、电导率以及热导率，计算其ZT值。本发明一步合成CoSb3纳米颗粒薄膜，工艺简单，所制备的CoSb3纳米颗粒直径在200-400nm，具有良好的导电率和较低的热导率，可直接用于热电研究，有望用于新型高效热电转换器件。

主权项

一种CoSb3纳米颗粒薄膜的制备方法，其特征在于包括如下步骤：1）确定反应物的比例，称取CoCl2·6H2O粉和Sb粉，分别放入各自坩埚中；2）将石英管放置在水平真空管式炉内，将装有CoCl2·6H2O粉和 Sb粉的坩埚分别置入石英管内，并置入载玻片作为衬底；3）用机械泵对石英管进行抽真空，然后通入氩气和氢气的混合气，将此过程重复三次，用于去除石英管内的氧气；4）将管式炉升温，在一定压强内保持一段时间，期间不断通入氩气和氢气的混合气，并控制流量；5）石英管降至室温后，将载玻片取出，并测试其Seebeck系数、电导率以及热导率，研究其热电性能。