[发明专利]一种倒装焊发光二极管的制造方法

摘要

本发明公开了一种倒装焊发光二极管的制造方法，包括如下步骤：提供一衬底，并在所述衬底上依次形成氮化镓缓冲层和氮化镓发光二极管磊晶层，其中氮化镓发光二极管磊晶层包括依次设置的n型氮化镓层、发光层和p型氮化镓层；在p型氮化镓层上形成p-电极；对未被p-电极覆盖的氮化镓发光二极管磊晶层进行干蚀刻，到达n型氮化镓层；在n型氮化镓层上形成n-电极；在p-电极、n型氮化镓层和n-电极上形成绝缘层，使得该绝缘层覆盖p-电极和n-电极；干蚀刻平坦化的绝缘层，露出p-电极和n-电极，但不及于半导体；将p-电极和n-电极焊接在安装台上。本发明能有效增加氮化物倒装焊接合LED的出光量与发光效率。

主权项

一种倒装焊发光二极管的制造方法，包括如下步骤：(1)提供一衬底，并在所述衬底上依次形成氮化镓缓冲层和氮化镓发光二极管磊晶层，其中氮化镓发光二极管磊晶层包括依次设置的n型氮化镓层、发光层和p型氮化镓层；(2)在p型氮化镓层上形成p‑电极；(3)对未被p‑电极覆盖的氮化镓发光二极管磊晶层进行干蚀刻，到达n型氮化镓层；(4)在n型氮化镓层上形成n‑电极；(5)在p‑电极、n型氮化镓层和n‑电极上形成绝缘层，使得该绝缘层覆盖p‑电极和n‑电极；(6)干蚀刻绝缘层，露出p‑电极和n‑电极，但不及于半导体；(7)将p‑电极和n‑电极焊接在安装台上。