[发明专利]基于电热驱动的步进微转动装置

摘要

本发明涉及一种基于电热驱动的步进微转动装置，用于将电热致动器产生的往复直线运动转换为齿轮的旋转运动。所述装置由主动致动器、啮合控制致动器、齿条、齿轮构成，整个装置采用多晶硅材料，用MEMS表面硅工艺制作，无需装配。该装置将致动器的往复直线运动转变为齿轮的旋转运动，结构简单，输出效率高，可与齿条组合应用在微夹钳、微操作台、微马达等MEMS器件中。

主权项

一种基于电热驱动的步进微转动装置，包括驱动部分和转换传动部分，其特征在于：1） 所述驱动部分包括左侧和右侧水平排列的各上下两个主致动器（1a、1b和1d、1c）以及左侧和右侧各一个啮合控制致动器（2b、2a），所述左右两侧共四个主致动器（1a、1b和1d、1c）分别由6个V型电热硅微致动器串联构成，端部分别连接两个负电极（9a、9b）和四个正电极（10a、10b和10c、10d）；所述左右两侧共两个啮合控制致动器（2b、2a）分别由3个V型电热硅微致动器串联构成，端部分别连接两个负电极（7b、7a）和两个正电极（8b、8a）；2）所述转换传动部分包括左侧和右侧各一个齿条（6、3）和一个转动套装在一根固定齿轮轴（5）上的齿轮（4），所述左右两侧上下两个主致动器（1a、1b和1d、1c）的中部以及左右两侧的啮合控制致动器（2b、2a）的中部分别连接左右两侧的齿条（6、3），两个齿条（6、3）与齿轮（4）之间的位置能实现两个齿条（6、3）与齿轮（4）受控啮合与分离。