[发明专利]气浮平面电机初始零位的定位方法有效

专利信息
申请号: 201210242284.6 申请日: 2012-07-12
公开(公告)号: CN102800369A 公开(公告)日: 2012-11-28
发明(设计)人: 朱煜;杨开明;蒋毅;成荣;张鸣;余东东;李鑫;尹文生;胡金春;穆海华 申请(专利权)人: 清华大学;北京华卓精科科技有限公司
主分类号: G12B5/00 分类号: G12B5/00
代理公司: 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 代理人: 邸更岩
地址: 100084 北京市海淀区1*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 气浮平面电机初始零位的定位方法,所述气浮平面电机包括定子平台和动子平台,定子平台上方固定安装平面磁钢阵列,动子平台采用气浮支承,且动子平台下表面固定安装两组结构相同的三相调整线圈,第一调整线圈组与第二调整线圈组均沿X方向。所述初始零位为线圈坐标系与磁场坐标系无夹角,所述定位方法包括:采用驱动装置给两组线圈输入一定规律的电流,驱动动子平台运动,两组线圈达到平衡位置,最终实现动子平台定位到初始零位。本发明为气浮永磁平面电机系统提供了一种简单、便捷的初始零位确定方法,为动子平台控制系统测量设备的正常工作提供必要的工作条件。
搜索关键词: 平面 电机 初始 零位 定位 方法
【主权项】:
一种气浮平面电机初始零位的定位方法,所述气浮平面电机包括定子平台(101)和动子平台(103),定子平台(101)上方固定安装磁钢阵列(102);动子平台(103)采用气浮轴承(204)支撑,动子平台(103)下表面安装线圈阵列(201)以及两个结构相同的第一调整线圈组(202)和第二调整线圈组(203),两个调整线圈组均为三相线圈,星型连接方式,两个调整线圈组的长边均沿X方向布置于同一直线上,所述初始零位为线圈坐标系与磁场坐标系无转角,其特征在于,所述定位方法包括以下步骤:1)把所述第一调整线圈组(202)的三相线圈和第二调整线圈组(203)的三相线圈分别接入驱动器装置(301),所述驱动器装置(301)包括六个线性驱动器;2)驱动器装置(301)分别给第一调整线圈组(202)的A1相线圈(202a)通入电流I1、B1相线圈(202b)通入电流I2和C1相线圈(202c)通入电流I3,分别给第二调整线圈组(203)的A2相线圈(203a)通入电流I1、B2相线圈(203b)通入电流I2和C2相线圈(203c)通入电流I3,并且通入电流满足以下关系:I1+I2+I3=0;3)经过上述步骤1)到步骤2),动子平台(103)运动到初始零位的位置,系统每次上电工作前,依照步骤1)至步骤2)进行初始零位的确定,此时,系统的测量设备正常工作,驱动装置切换到平面电机正常工作状态下。
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