[发明专利]用于确定抛光机的抛光垫的厚度度量的方法和设备有效
| 申请号： | 201210242334.0 | 申请日： | 2012-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN102873632A | 公开（公告）日： | 2013-01-16 |
| 发明（设计）人： | S.希尔德布兰特;C.塔尔多夫 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B39/00 | 分类号： | B24B39/00;B24B49/12;B24B49/10 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 王岳;李浩 |
| 地址： | 德国瑙伊比*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及用于确定抛光机的抛光垫的厚度度量的方法和设备。一种用于确定抛光机的抛光垫的厚度度量的设备包括检测器和确定器。检测器被配置成在要抛光的元件的载体在挤压方向上以限定的压力将元件压向抛光垫时检测该载体在挤压方向上的位置。检测器进一步被配置成输出指示载体的位置的信号。确定器被配置成基于指示载体的位置的信号确定抛光垫的厚度度量。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 确定 抛光机 抛光 厚度 度量 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种用于确定抛光机的抛光垫的厚度度量的设备，该设备包括：检测器，被配置成在要抛光的元件的载体在挤压方向上以限定的压力将元件压向抛光垫时检测该载体在挤压方向上的位置并且输出指示该载体的位置的信号；以及确定器，被配置成基于指示载体的位置的信号确定抛光垫的厚度度量。
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