[发明专利]用于在靶处以不同束能量操作的聚焦带电粒子镜筒

摘要

本发明涉及用于在靶处以不同束能量操作的聚焦带电粒子镜筒。一种在多个束能量具有改进性能的带电粒子镜筒。该镜筒运用四元件物镜以在高和低束能量两者实现改进的对靶的束聚焦性能而不同聚焦电压配置用于不同束能量。通过改变向物镜的四个电极施加的电压，可以迅速配置不同的聚焦条件从而实现在目标的优化成像与优化处理之间的迅速切换。

主权项

 一种用于在从最低束能量到最高束能量的能量范围上将带电粒子聚焦于靶的带电粒子镜筒，包括：光轴；带电粒子源，用于生成所述带电粒子，所述源位于所述光轴上；物镜，用于将所述带电粒子聚焦到所述靶上，所述物镜包括至少第一电极、第二电极、第三电极和第四电极，所述电极沿着所述光轴依次布置，而所述第一电极与所述带电粒子源最接近并且所述第四电极与所述靶最接近，而且有在所述第一与第二电极之间的第一间隙、在所述第二与第三电极之间的第二间隙以及在所述第三与第四电极之间的第三间隙；其中所述第三间隙不多于所述第一或者第二间隙的大小的1/3；并且其中所述第一和第四电极通过第一电压源被偏置成第一电压，并且其中所述第二和第三电极之一也被偏置成所述第一电压，而另一电极被偏置成与所述第一电压不同的电压，在处于所述第一电压的所述电极与处于所述不同电压的所述电极之间感应的电场将所述带电粒子聚焦到所述靶上。